在工業用水中，根據對水的不同要求可按其純度進行分類。

1.軟化水 一般是指將水中的鈣離子、鎂離子等離子的含量降低或去除至一定程度的水。水在軟化過程中，硬度降低，軟化水一般廣泛用于低壓工業鍋爐用水。軟化方法通常為離子交換法和藥劑軟化法。

2. 脫鹽水（包括一級脫鹽與二級脫鹽） 一般是指用物理、化學等方法將水中易于去除的強電解質去除至一定程度的水。在除鹽過程中亦除去了部分機械雜質和有機物質。脫鹽水中的剩余含鹽量一般應在1-5mg/L以下，25度時的電導率為1-10μs/cm。常用的脫鹽方法有蒸餾、膜分離子、離子交換或幾種方法的組合使用。

3.純水 雙稱去離子水。一般指用物理、化學的方法將水中易于去除的強電解質去除之外，還將水中難以去除的硅酸及二氧化碳等弱電解質去除至一定程度的水。25度時純水中的電導率一般為0.1-1μs/cm，剩余含鹽量一般應在1mg/L以下。純水設備的常用方法有離子交換、**、膜分離子等方法。

4.高純水 又稱“超純水”。一般是指將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至極低程度的水。高純水中剩余含鹽量應在0.1mg/L以下，25度時的電導率在0.1μs/cm以下。

5.理論水 又稱理想水，即不含任何雜質的水，這樣的水是不存在的。

隨著近年來科技的不斷發展，各行業對純水的水質要求也不斷提高，以前將電阻率作為**衡量水質純度的做法已遠遠不能滿足要求了，人們開始對水中陰離子含量、陽離子含量、顆粒數、有機物和**等逐步有了定量的指標和限制。在20世紀70年代中期，微粒、**、二氧化硅、鈉和總有機磷這五項指標的確定，才確保了集成電路加工用水的質量。進入80年代，由于集成度的進一步提高，對純水水質要求尤其是微粒、**更加嚴格，在此基礎上又增加了溶解氧的限制指標。

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