低溫等離子廢氣處理裝置
　　當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。其所擁有的高能電子同煙氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧。這些強氧化性的活性氧物迅速與煙氣中的有機分子碰撞，**有機分子，并直接將其破壞，或者高能活性氧**空氣中的氧分子產生二次活性氧，與煙氣中的有機分子產生一系列鏈式反應，并利用自身反應產生的能量維系氧化反應，而進一步氧化有機物質，生成無機氧化物和水。在這一過程中產生的荷電離子在另一外加電場的作用下被捕集。使氣體中的碳化物、硫化物、氫化物及苯類、烴類等高風險致癌物的分子發生改變，生成性能穩定的二氧化碳、水、蒸氣及大量的碳化物。另外，還可以對小至亞微米級的細微煙霧顆粒物進行**的收集。