低溫等離子體是利用高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。這項工藝是一種全新的凈化過程，不需要任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
　　有機廢氣處理設備的工藝比較
　　活性炭吸附法，顧名思義，利用了活性炭的吸附作用，它是目前在工業廢氣、廢水處理中普遍采用的吸附劑材料，吸附效果取決于吸附劑性質、VOCs種類、濃度和吸附系統的操作溫度、濕度等，所以它最適于處理濃度為300×10-6～5000×10-6的有機廢氣。它結構簡單，維護管理方便，能耗少，運轉平穩。
　　水噴淋法的原理是酸霧廢氣由風管引入凈化塔，經過填料層，廢氣與氫氧化鈉吸收液進**液兩相充分接觸吸收中和反應，酸霧廢氣經過凈化后，再經除霧板脫水除霧后由風機排入大氣。吸收液在塔底經水泵增壓后在塔頂噴淋而下，**回流至塔底循環使用。該工藝除塵脫硫效率高，占地少，安裝方便，使用壽命長。