沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮燃燒法主要適用于濃度小、價(jià)值低、風(fēng)量較大的vocs廢氣處理，整套廢氣處理工藝相對來說投資較大，而且有一定局限性(不能處理高沸點(diǎn)有機(jī)廢氣)，但針對廢氣凈化處理來說是比較完善的設(shè)備選擇之一。
　　該系統(tǒng)結(jié)合吸附、脫附及濃縮焚燒三項(xiàng)操作單元為一體，設(shè)備特性適合處理高流量、低污染物濃度及含多物種之VOCs廢氣，其主要應(yīng)用于排放較稀薄且接近周界溫度之污染物工業(yè)，典型應(yīng)用如影印、涂裝制程及半導(dǎo)體工廠等相關(guān)產(chǎn)業(yè)。
　　沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合(Cassette)為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉(zhuǎn)體，轉(zhuǎn)體由沸石吸附介質(zhì)與陶瓷纖維制成。轉(zhuǎn)輪上包含用以分開處理廢氣及處理后釋出干凈氣體之密封墊，其材質(zhì)為需能承受VOCS腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料制成(一般為硅)。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉(zhuǎn)輪組合隔離成基本之吸附區(qū)(Adsorptionzone)及再生脫附區(qū)(Regenerationzone;desorptionzone)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附處理能力，則常見于前二區(qū)間加一隔離冷卻區(qū)(CoolingzoneorPurgezone)。通常吸附區(qū)為較大，而脫附區(qū)及冷卻區(qū)則為兩個較小且面積相等之處理側(cè)。有時(shí)為特殊需求亦可分成更多串聯(lián)區(qū);而吸附轉(zhuǎn)輪由一組電動驅(qū)動設(shè)備用以旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)輪，故轉(zhuǎn)輪處理時(shí)為可變速、且可控制每小時(shí)旋轉(zhuǎn)2至6轉(zhuǎn)之能力。
　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮燃燒技術(shù)原理
　　工廠所排放出之VOCS廢氣進(jìn)入系統(tǒng)后，**階段系經(jīng)過疏水性沸石所組成之轉(zhuǎn)輪，VOCS污染物質(zhì)首先于轉(zhuǎn)輪上進(jìn)行吸附;第二階段之脫附程序是由與后端焚化系統(tǒng)熱交換后預(yù)熱之經(jīng)冷卻區(qū)處理后廢氣(約180至250℃)，使其通入轉(zhuǎn)輪內(nèi)利用高溫將有機(jī)物脫附下來，此時(shí)出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右，而脫附下來之有機(jī)物則可于第三階段進(jìn)行溫度于700℃以上之焚化或進(jìn)行冷凝回收再利用等程序，如此可以減少后續(xù)之廢氣處理單元尺寸、操作經(jīng)費(fèi)及設(shè)備初設(shè)費(fèi)用。
　　沸石轉(zhuǎn)輪之處理單元如下：
　　(1)沸石轉(zhuǎn)輪的機(jī)體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經(jīng)燒結(jié)所做成，其中陶瓷纖維因具備耐高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不可燃及耐酸堿的特性而最受廣泛使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。轉(zhuǎn)輪厚度一般為25cm-45cm。
　　(2)沸石轉(zhuǎn)輪之基質(zhì)為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉(zhuǎn)輪，再分為兩個區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及再生脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附能力，有時(shí)會設(shè)計(jì)于兩區(qū)之間多一個冷卻區(qū)，通常吸附區(qū)較大，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個較小且面積相等之處理區(qū)域。
　　(3)熱回收設(shè)備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達(dá)500-700℃，將此部分空氣經(jīng)由熱交換器將熱能加以回收，同時(shí)將干凈空氣溫度降低后將其導(dǎo)至轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)為轉(zhuǎn)輪進(jìn)行脫附作用;若溫度太高則轉(zhuǎn)輪可能發(fā)生燃燒，因此進(jìn)入轉(zhuǎn)輪之溫度不可太高，一般會設(shè)置兩段熱回收設(shè)備并增設(shè)一鼓風(fēng)機(jī)導(dǎo)入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內(nèi)。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)外，并可在制程端如光阻涂布機(jī)臺或去光阻制程廢氣出口端加裝冷凝器，預(yù)先分流處理高沸點(diǎn)VOCs(如MEA、BDG、DMSO)。
　　總結(jié)：沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮燃燒法主要是利用存在于轉(zhuǎn)輪中的沸石先對有機(jī)廢氣進(jìn)行吸附，然后經(jīng)由轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)脫附下來進(jìn)入燃燒室燃燒分解成H2O和CO2等小分子無機(jī)物排出廠外達(dá)到凈化效果。