產(chǎn)品簡(jiǎn)介：MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)采用旁路設(shè)計(jì)并使用本公司的MEMS流量傳感器芯片，集成了時(shí)域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場(chǎng)上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種時(shí)域流量傳感技術(shù)**了一些常見(jiàn)氣體的敏感性。而對(duì)于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實(shí)現(xiàn)氣體識(shí)別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和得以大幅度提升。時(shí)域流量傳感技術(shù)還提供了線(xiàn)性度，并使用度效應(yīng)大幅降低。
MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，適用于各類(lèi)清潔、干燥氣體。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量范圍覆蓋（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM,該流量計(jì)工作壓力提高到0.8MPa，MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)提供多種信號(hào)輸出，通過(guò)RS485或I2C數(shù)字通訊接口可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置，并可選擇NPN或PNP開(kāi)關(guān)信號(hào)輸出。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶(hù)在現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整或者查詢(xún)流量計(jì)的參數(shù)。本產(chǎn)品可用于工業(yè)應(yīng)用中的焊接機(jī)器、激光設(shè)備、氣體混合控制等。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
質(zhì)量流量，時(shí)域傳感技術(shù)
全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM
全量程優(yōu)良的重復(fù)性
可測(cè)量多種氣體不需要修正
多種輸出信號(hào)可選
支持多種連接方式，易于安裝與使用
工作原理
MF3000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于銘鴻儀表公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。
該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當(dāng)沒(méi)有氣體流過(guò)時(shí)，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測(cè)量到具體的溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大、調(diào)理和線(xiàn)性化處理后，通過(guò)LED顯示或模擬、數(shù)字信號(hào)輸出。由于不同種類(lèi)的氣體對(duì)微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的溫度變化不同，所以能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。
技術(shù)參數(shù)：
流量范圍：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM
量程比：50：1
精度：±（2.5+0.5FS）%
重復(fù)性：1.0%
零點(diǎn)穩(wěn)定度：±30MV
輸出漂移：±0.12%/℃
響應(yīng)時(shí)間10MS
工作電源：8-24VDC,50MA
信號(hào)輸出1：RS485或I²C
信號(hào)輸出2/3：模擬電流4-20mA/模擬電壓：1-5VDC/NPN/PNP
顯示方式：4位4段LED數(shù)碼管，2個(gè)指示燈
顯示單位：瞬時(shí)流量：SLPM;累積流量：SL或Nm³
顯示分辨率：瞬時(shí)流量：0.01SLPM,累積流量：0.1SL或0.01Nm³
工作壓力：0.8MPa
工作溫度：-10～+55℃
儲(chǔ)存溫度：-20～+65℃
工作濕度：<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口：BSRT1/4外螺紋　4、6、8MM快速接頭　或8mmL型接頭　BSPT1/2內(nèi)螺紋
按鍵：三個(gè)按鍵
校準(zhǔn)方式：空氣（20℃，101.32kPa）
電氣接品：6針插座，廣瀨：DF51K-6P-2DS
符合性：RoHS,REACH
備注：1.為了流量計(jì)的測(cè)量精度，使用前需要預(yù)熱一分鐘
2.傳感器默認(rèn)為空氣校準(zhǔn)，測(cè)量 其它氣體時(shí)，精度會(huì)有所下隆
3.默認(rèn)響應(yīng)時(shí)間這10MS可通過(guò)修改濾波調(diào)慢響應(yīng)時(shí)間。
4.以上參數(shù)在為20℃101.325kPa下測(cè)得。
輸出引線(xiàn)定義：
1、紅色：信號(hào)輸出3：NPN/PNP
2、灰色：信號(hào)輸出2：模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN
3、藍(lán)色:GND 電源/信號(hào)地（-）
4、棕色：VCC電源正8-24VDC（+）
5、黑色：RS48*(+)I²C時(shí)鐘線(xiàn)（SCL）
6、白色：RS485B(-）I²C數(shù)據(jù)線(xiàn)(SDA）
流量計(jì)的電氣接口為DF51K-6P-2DS（廣瀨），出廠(chǎng)時(shí)帶一型號(hào)為DF51K6-100的配線(xiàn)，長(zhǎng)度 為100CM，一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。