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DYONICS 氙氣光源 REF 7205353供應(yīng)維修收購服務(wù)中心介紹關(guān)于DYONICS 氙氣光源 的工業(yè)應(yīng)用相關(guān)內(nèi)容：(2) 進步輸出功率。現(xiàn)在LPP EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源到達的輸出功率為7 W@2π，其間激光器輸出200 mJ，脈寬9 ns，重復(fù)頻率5 kHz，作業(yè)氣體為Xe，**能量變換功率到達0.7 %。Powerlase 公司方案在2005年選用三套并聯(lián)技能，將激光輸出進步到3.6 kW，在IF 點得到10～20 W 的EUV 輸出[10]。進步LPPXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源輸出功率的首要問題是進步激光器的輸出功率和能量變換功率。DPP EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源現(xiàn)在到達的輸出功率為25.7 W(Xe，搜集角1.8 sr，IF 點，變換功率1%)和51.4 W(Sn，搜集角1.8 sr，IF 點，變換功率2%)，技能上可以到達224 W，滿意對EUVXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源輸出功率的要求。進步DPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源輸出功率面對的首要問題是進步變換功率，優(yōu)化發(fā)射譜，進步電極的熱載荷。
Cymer作為光刻XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源范疇的搶先供貨商，現(xiàn)在專心于供給DUV 及EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源。半
2007年Sematech 在Baltimore，Md. 主辦的EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源研討會(EUV Source Workshop)上，12 家供貨商和研制小組介紹了三類大功率激光體系的預(yù)備情況和研制方案，它們被規(guī)劃用來與錫進行磕碰以發(fā)生EUV 光。依據(jù)XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源供貨商的說法，以錫為燃料的LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源，現(xiàn)在可以在短時間內(nèi)發(fā)生高達130 W 的功率，然后可以用**集光器在中心焦點(intermediatefocus，IF)上得到40 W 以上的功率。研討會主席、Sematech **技能專家Vivek Bakshi 指出：假如這些XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源的商業(yè)版別可以被及時地集成到一個牢靠的XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源搜集模塊(SoCoMo)上，就能供給滿意的功率來滿意預(yù)定于2009 年交貨的beta EUV 光刻機40～60 W 的**功率要求。盡管所有這3 種激光體系還不能到達商用EUV 光刻機所需的10～20 kW 的功率，可是可以經(jīng)過“倍增”低功率體系來獲得必要的瓦特值。“這種方法的激光器銜接模塊的可行性已被證明了一段時間了，”Bakshi 說，“隨著單個激光器模塊的功率和牢靠性的提升，在LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源中只需較少的模塊就可以到達滿意的功率。”
激光等離子體EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源(LPP)
(5) 與EUVL XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源相關(guān)的基礎(chǔ)研討。與EUVLXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源相關(guān)的基礎(chǔ)研討有：粒子和等離子體對XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源部件的腐蝕和堆積機制、XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源發(fā)生的粒子品種和能量散布、熱量的發(fā)生和輸運機制、輻射的發(fā)生和輸運機制等。
(3) 延長XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源的壽數(shù)。依據(jù)ASML，Canon，Nikon 聯(lián)合提出的對XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源的需求，要求XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源壽數(shù)大于30 000 h，按7～10 kHz 的重復(fù)頻率計算，壽數(shù)約為700 G～1 000 G 個脈沖。XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源的壽數(shù)首要取決于電極、噴嘴、光學體系等。對LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源，噴嘴的壽數(shù)現(xiàn)在可以優(yōu)于1.5 G個脈沖，反射鏡的壽數(shù)可達5 G個脈沖。對GDPP(氣體放電發(fā)生的等離子體)XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙氣光源，在帶有碎片過濾器的條件下，光學。
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資訊來源：羅克自動化