***************25-3600-0300-03晶圓傳輸機器人校準器*******************

誠信經營，質量為首，誠信至上，羅克自動化竭誠為您服務

***************汕頭市羅克自動化科技有限公司***************
聯系人：李生（銷售經理）
手機 ：15322569805
-----------------------------------------------------------------------------
汕頭羅克自動化科技有限公司多年來提供全球各品牌工業自動化產品，數控伺服系統等銷售維修服務，技術好，服務佳，價格實在。
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
25-3600-0300-03晶圓傳輸機器人校準器渠道商介紹，一個晶圓在經過一系列復雜的工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓傳送機器人在處理站之間執行快速、精確的傳送作業。晶圓價值昂貴且易碎，這意味著機器人工作的穩定性和可靠性是關鍵的考慮因素。韓國機器人制造商Robot and Design (RND) 采用了RLS LM10系列增量式磁編碼器系統來優化其晶圓傳送機器人的性能。

　　硅是一種常用的半導體材料，在經過一系列上游工序(例如切割、光刻、蝕刻、曝光、沉積等)后，它變成了表面刻有“印刷電路”的圓形晶圓。之后晶圓再經過一系列下游工序(包括粘接、布線、封裝、測試等)，最終變成多個功能強大的微型IC單元。

　　事實上，現代技術已經可以生產出納米級厚度的晶圓。然而，如此薄的晶圓很容易在傳送過程中損壞;此外還必須確保在整個工序中晶圓表面不得有臟污。如今，大多數制造商都在使用機器人代替人工來傳送晶圓，這已成為半導體制造的操作重點之一。

RND的晶圓傳送機器人的操作速度達到1.8 m/s。它高度依賴于快速響應、極端可靠和穩定的位置反饋系統。任何微小的位置誤差都可能導致晶圓破損，造成非常高昂的經濟損失。

Jung先生解釋道：“一般來說，相較于其他半導體制造設備，晶圓傳送機器人上的編碼器的精度要求相對較低。精度固然重要，但穩定性是我們的重中之重。想象一下，機器人每天不停地高速往復移動，因此確保其工作的穩定性，成為我們開發過程中面臨的挑戰之一。編碼器作為機器人的核心部件，我們在對其進行市場調研時，重復精度始終是一項首要考慮因素。LM10系列磁編碼器的重復精度可達到單位分辨率。它的性能多年來非常穩定，因此，我們毫無疑問會繼續使用它。”

LM10系列是設計用于惡劣環境下高速應用的磁編碼器。它的分辨率達到0.244 μm，分辨率為1 μm時**速度達到7 m/s，密封等級為IP68。LM10讀數頭沿襲RLS編碼器系列的人體工程學設計，配有LED安裝指示燈且安裝公差寬松;無需其他復雜的安裝設備，便可實現真正簡單且**的安裝。此外，LM10采用了背面自帶不干膠的磁柵尺，其上配有雙向參考零位。柵尺**長度達100 m，間隙為1 mm。

資訊來源：汕頭羅克自動化