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福建真空泵維修，愛德華EPX500L精修，廈門志德品質服務
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英國愛德華真空泵維修，廈門志德十年專業，品質服務！
愛德華EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用，如灰化/剝離和注入端點 站應用。 EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck 分級機構， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7 Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠程 安裝。此外，通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。而新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供**的性能，與 IPX 相比，，包裝重 |
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電話：0592-6515234
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