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微光顯微鏡EMMI,微光顯微鏡公司上海微光顯微鏡公司宜特檢測
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微光顯微鏡(EMMI)
對于半導體組件之故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)已被學理證實是一種相當有用且效率極高的診斷工具。該設備具備高靈敏度的CCD，可偵測到組件中電子－電洞對再結合時所發射出來的光子，能偵測到的波長約在 350 nm ~ 1100 nm 左右。目前此設備全方面的應用于偵測各種組件缺點所產生的漏電流，如： Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage 等。
偵測的到亮點之情況：
會產生亮點的缺點 - Junction Leakage; Contact spiking; Hot electrons; Latch-Up; Gate oxide defects / Leakage(F-N current); Poly-silicon filaments; Substrate damage; Mechanical damage及Junction Avalanche等。原來就會有的亮點 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse biased diodes(break down) 等。
關于宜特：
iST始創于1994年的臺灣，主要以集成電路行業可靠性驗證、材料分析、失效分析、無線認證等技術服務。2002年進駐上海，目前全球已有7座實驗室12個服務據點，目前已然成為深具影響力之芯片驗證第三方實驗室。
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