探針量測,探針量測公司,上海探針量測,宜特檢測
奈米級探針量測(Nano Prober)
隨著IC 制程微小化,組件密度提升,微區電性量測是IC組件研究發展中不可或缺的技術。Nano-probing技術即在掃瞄式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)其高倍率觀察下,以奈米操控器搭配Keithley 4200量測系統,能直接提供單一晶體管的電性曲線,相較于導電性原子力顯微術(Conductive Atomic Force Microscopy, CAFM),由于SEM能提供及時影像因此能快速找到欲量測位置。此外,在SEM真空環境下進行電性量測,能避免外界環境的噪聲干擾,對于半導體組件故障分析及其在奈米尺度下之研究發展均能提供直接且快速的信息。
應用:
組件電性特性分析
組件質量及故障分析
微機電及IC微結構研究
機臺規格/ 極限:
場發射掃瞄式電子顯微鏡【廠牌型號】:JSM-6700F (JEOL)
電流電壓量測系統【廠牌型號】:Keithley Model 4200-SCS
微電探針量測系統【廠牌型號】: Zyvex
關于宜特:
iST始創于1994年的臺灣,主要以提供集成電路行業可靠性驗證、失效分析、材料分析、無線認證等技術服務。2002年進駐上海,全球現已有7座實驗室12個服務據點,目前已然成為深具影響力之芯片驗證第三方實驗室。 |
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