SIMS離子質譜儀驗證,高辯率離子質譜儀SIMS,宜特檢測
二次離子質譜儀(SIMS)
一般常見的表面材料成份分析儀器有歐杰電子顯微鏡AES、化學分析電子儀ESCA以及二次離子質譜儀SIMS。其中二次離 子質譜儀具有高靈敏度的雜質偵測力，幾乎對所有元素的偵測極限可達ppma(百萬分之一原子密度)，對于部份元素的偵測極 限甚至可達ppba (十億分之一原子密度)，而被全方面的應用于半導體以及薄膜材料分析上。
SIMS分析優點：
偵測極限可達ppma甚至ppba可偵測周期表上所有元素(H~U)可區分同位素縱深分辨率為10~20nm，具佳可達2~5nm可分析導電不良樣品藉由標準品以及RSF (Relative Sensitivity Factor)可作定量分析
SIMS應用很全方面，如偵測表面污染、氧化還原、吸附、腐蝕、觸媒效應等動態分析研究，尤其可作微量元素分布，因此在材料、化學、物理、冶金及電子方面之發展被大量使用。SIMS不但可作表面及整體之分析，又可直接作影像觀察，其靈敏度及解析能力甚高，周期表H~U元素均可偵測，尤其對同位素分析更是**。

關于宜特：
iST始創于1994年的臺灣，主要以提供集成電路行業可靠性驗證、失效分析、材料分析、無線認證等技術服務。2002年進駐上海，全球現已有7座實驗室12個服務據點，目前已然成為深具影響力之芯片驗證第三方實驗室。
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SIMS二次離子質譜儀

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